[发明专利]一种链式传输系统

摘要

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，提供了一种链式传输系统。该链式传输系统包括下传输系统，及依次连接的自动化上料台、抽真空腔体、工艺腔体、放气腔体和自动化下料台；所述下传输系统分别与所述自动化下料台及自动化上料台连接，所述自动化下料台与所述放气腔体之间设置有载板缓存冷却台。本发明提供的链式传输系统中采用缓存单元能够使载板在该单元有一定的停留时间使载板冷却，同时在上下料工位或其它传输工位发故障时能收存载板，使已经进入真空的载板完成工艺过程，将完成处理的载板缓存起来，避免了废品的产生，也节约了再启动时间；具有生产率高和成品率高的优点。

主权项

1.一种链式传输系统，其特征在于，包括：下传输系统，及依次连接的自动化上料台、抽真空腔体、工艺腔体、放气腔体和自动化下料台；所述下传输系统分别与所述自动化下料台及自动化上料台连接，所述自动化下料台与所述放气腔体之间设置有载板缓存冷却台；所述载板缓存冷却台包括机架及设置于机架上的闭合腔室及缓存单元,缓存单元设置于所述闭合腔室内,用于缓存所述载板；所述闭合腔室上设置有通孔，用于抽气排放；所述载板缓存冷却台还包括对应于所述载板设置的风扇，所述载板缓存冷却台还包括对应于所述风扇设置的板式换热器。