[发明专利]一种基于悬臂型圆孔探针的偏振调制扫描近场光学显微镜系统装置有效
| 申请号： | 201610557668.5 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN107621552B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 李敬;孟祥敏;方金云;田利丰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张文祎;段俊峰 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于悬臂型圆孔探针的偏振调制扫描近场光学显微镜系统装置。所述系统包括：光源单元，为扫描单元提供偏振方向可调的线偏振扫描光源；扫描单元，将线偏振扫描光源耦合进悬臂型圆孔探针照射样品，利用悬臂型圆孔探针收集样品的偏振扫描光信号，进行接触模式或轻敲模式的近场扫描成像；成像单元，对所收集的光信号进行处理，获得待扫描样品图像信息。本发明基于空间光路、利用悬臂型圆孔探针进行偏振调制成像，克服了光纤探针的缺陷，具有偏振保持特性高、光通量高、可提供较高光功率、耐磨损、重复性好等优点，可以提高偏振调制成像的分辨率和信噪比。同时，光调制器与锁相放大器联用，得到的相位信息输入到系统控制器可以获得偏振调制成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 悬臂 圆孔 探针 偏振 调制 扫描 近场 光学 显微镜 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种基于悬臂型圆孔探针的偏振调制扫描近场光学显微镜系统装置，其特征在于，所述偏振调制扫描近场光学显微镜系统装置包括：光源单元，用于为扫描单元提供偏振方向可调的线偏振扫描光源；扫描单元，包括悬臂型圆孔探针，将线偏振扫描光源耦合进悬臂型圆孔探针照射样品，或利用悬臂型圆孔探针收集样品的偏振扫描光信号，进行接触模式或轻敲模式的近场扫描成像；成像单元，用于对所收集的光信号进行处理，获得待扫描样品图像信息。
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