[发明专利]电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路有效
| 申请号： | 201610559162.8 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106017466B | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘德盟;任臣 | 申请（专利权）人： | 河北美泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王占华 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路，包括输入共模反馈模块、第一放大模块和第二放大模块；输入共模反馈模块的反相输入端和反馈输出端与电容型MEMS惯性传感器的输出端和第一放大模块的输入端电连接，输入共模反馈模块的正相输入端接地；第一放大模块的输出端与第二放大模块的输入端电连接；第一放大模块还与第一复位信号输入端连接，第二放大模块还与第二复位信号输入端连接；在第一复位信号输入端停止输入第一复位信号预设时间后，第二复位信号输入端再停止输入第二复位信号。上述电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路，检测准确性高、噪声低且转换精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 mems 惯性 传感器 闭环 检测 电压 转换 电路 | ||
【主权项】：
1.一种电容型MEMS惯性传感器闭环检测的电容电压转换电路，其特征在于，包括输入共模反馈模块、第一放大模块和第二放大模块；所述输入共模反馈模块的反相输入端与电容型MEMS惯性传感器的输出端和所述第一放大模块的输入端电连接；所述输入共模反馈模块的反馈输出端与所述电容型MEMS惯性传感器的输出端和所述第一放大模块的输入端电连接；所述输入共模反馈模块的正相输入端接地；所述第一放大模块的输出端与所述第二放大模块的输入端电连接；所述第一放大模块还与第一复位信号输入端连接，所述第二放大模块还与第二复位信号输入端连接；在所述第一复位信号输入端停止输入第一复位信号预设时间后，所述第二复位信号输入端再停止输入第二复位信号。
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