[发明专利]通过摄像头挑选不合格晶粒的方法

摘要

本发明公开了一种通过摄像头挑选不合格晶粒的方法，步骤1、在不合格的晶粒之上点一墨点；步骤2、将晶圆放置在主工作台之上；步骤3、第二步进电机控制副工作台移动至第一行晶粒；步骤4、第一步进电机控制主工作台沿横向轨道由左向右逐个晶粒移动，每移动一个晶粒的位置，摄像头拍摄一图像；如果晶粒不合格，则第三电机控制抓手部件将此晶粒挑出；步骤5、第二步进电机控制副工作台由上至下移动一个晶粒的高度；步骤6、重复步骤4和步骤5。本发明公开了一种挑选不合格晶粒的方法，原理简单，挑选精确度高，可增加挑选速度，增加晶粒良率。

主权项

一种通过摄像头挑选不合格晶粒的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、对晶圆上未切割的晶粒进行初步测试，在测试不合格的晶粒之上，点一墨点作为不合格标记；步骤2、将进行完不合格标记的晶圆放置在主工作台之上的晶圆固定槽之上；步骤3、第二步进电机控制副工作台移动至第一行晶粒；步骤4、第一步进电机控制主工作台沿横向轨道由左向右逐个晶粒移动，每移动一个晶粒的位置，摄像头拍摄一图像；并将图像传送至监控机；监控机进行图像二值化处理，如果图像中出现大面积的黑色值，则第三电机控制抓手部件向下移动，将此晶粒挑出移走；步骤5、第二步进电机控制副工作台由上至下移动一个晶粒的高度；步骤6、重复步骤4和步骤5，直至检查完此晶圆上的所有晶粒。