[发明专利]一种锆钛酸铅/钌酸锶铁电超晶格材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201610561254.X | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106058039B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王占杰;何斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 崔晓蕾 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种锆钛酸铅/钌酸锶铁电超晶格材料及其制备方法，该材料由周期性生长的铁电性材料锆钛酸铅和金属导电性氧化物材料钌酸锶所构成。本发明锆钛酸铅/钌酸锶铁电超晶格材料的优点为：介电常数与纯PZT薄膜相比增加了2～10倍；并且具有良好的铁电极化性能，其饱和极化值高于纯PZT薄膜，可以达到80μC/cm2。该材料的制备方法是利用脉冲激光沉积法在单晶基板上交替生长钌酸锶和锆钛酸铅，通过控制激光轰击不同靶材的时间，精确地调控超晶格的周期厚度。该铁电超晶格材料在传感器、存储器等集成铁电器件上具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锆钛酸铅 钌酸锶铁电超 晶格 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种锆钛酸铅/钌酸锶铁电超晶格材料，其特征在于：该铁电超晶格材料包含铁电性材料Pb(Zr0.52Ti0.48)O3和金属导电性氧化物材料SrRuO3，该铁电超晶格材料表示为PZT‑x/SRO‑y，其中：PZT代表Pb(Zr0.52Ti0.48)O3，x代表PZT的周期厚度，为2‑16个晶胞；SRO代表SrRuO3，y代表SRO的周期厚度，为1‑3个晶胞。
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