[发明专利]一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610562253.7 申请日: 2016-07-14
公开(公告)号: CN106024924B 公开(公告)日: 2018-05-22
发明(设计)人: 刘雪珍;周文远;吴波;刘建庆;张小宾;杨翠柏 申请(专利权)人: 中山德华芯片技术有限公司
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/0725;H01L31/0735;H01L31/18
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 梁莹
地址: 528437 广东省中山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池及其制备方法,以Ge单晶为衬底,在该衬底表面自下而上依次生长有GaInP成核层、GaInAs缓冲层、晶格渐变缓冲层、第一新型隧穿结、GaInAs子电池、第二新型隧穿结和GaInP子电池。其中,第一新型隧穿结和第二新型隧穿结均包括一层简并的p型镓铟氮砷(Ga1‑yInyNxAs1‑x)和一层简并的n型镓铟砷(Ga1‑zInzAs),两层材料的晶格常数分别与其相邻半导体层材料一致或失配度小于3%,每层的厚度均在5到100nm范围内。本发明采用的新型隧穿结不仅具有比普通隧穿结更优的高电导、强透光性,更重要的作为一种刚性材料可以过滤大量穿透位错和失配位错,降低非辐射复合,提高少子寿命,从而提高光电转换效率。
搜索关键词: 一种 新型 隧穿结 晶格 失配 太阳能电池 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池,其特征在于:采用金属有机化合物气相沉积,以Ge单晶为衬底,在该衬底上表面自下而上依次生长有GaInP成核层、GaInAs缓冲层、晶格渐变缓冲层、第一新型隧穿结、GaInAs子电池、第二新型隧穿结和GaInP子电池;所述第一新型隧穿结和第二新型隧穿结均包括一层简并的p型镓铟氮砷Ga1-yInyNxAs1-x和一层简并的n型镓铟砷Ga1-zInzAs;该第一新型隧穿结和第二新型隧穿结所含的p型Ga1-yInyNxAs1-x,其光学带隙为0.85~1.4eV,掺杂元素为C或Zn,掺杂浓度大于1e19,晶格分别与其相邻半导体层材料匹配或失配度小于3%,厚度均在5到100nm范围内;该第一新型隧穿结和第二新型隧穿结所含的n型Ga1-zInzAs,其光学带隙为小于或等于1.42eV,掺杂元素为Si、Te或/和Ge,掺杂浓度大于1e19,晶格分别与其相邻半导体层材料匹配或失配度小于3%,厚度均在5到100nm范围内;所述Ga1-yInyNxAs1-x材料背景掺杂为p型,且浓度高达1e17;所述Ga1-yInyNxAs1-x材料对晶格失配结构中的穿透位错的缺陷进行再过滤,从而提高子电池的晶体质量,起到位错阻挡层的作用。
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