[发明专利]一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池及其制备方法有效
申请号: | 201610562253.7 | 申请日: | 2016-07-14 |
公开(公告)号: | CN106024924B | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 刘雪珍;周文远;吴波;刘建庆;张小宾;杨翠柏 | 申请(专利权)人: | 中山德华芯片技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304;H01L31/0725;H01L31/0735;H01L31/18 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 梁莹 |
地址: | 528437 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明公开了一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池及其制备方法,以Ge单晶为衬底,在该衬底表面自下而上依次生长有GaInP成核层、GaInAs缓冲层、晶格渐变缓冲层、第一新型隧穿结、GaInAs子电池、第二新型隧穿结和GaInP子电池。其中,第一新型隧穿结和第二新型隧穿结均包括一层简并的p型镓铟氮砷(Ga |
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搜索关键词: | 一种 新型 隧穿结 晶格 失配 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种含新型隧穿结的晶格失配太阳能电池,其特征在于:采用金属有机化合物气相沉积,以Ge单晶为衬底,在该衬底上表面自下而上依次生长有GaInP成核层、GaInAs缓冲层、晶格渐变缓冲层、第一新型隧穿结、GaInAs子电池、第二新型隧穿结和GaInP子电池;所述第一新型隧穿结和第二新型隧穿结均包括一层简并的p型镓铟氮砷Ga1-y Iny Nx As1-x 和一层简并的n型镓铟砷Ga1-z Inz As;该第一新型隧穿结和第二新型隧穿结所含的p型Ga1-y Iny Nx As1-x ,其光学带隙为0.85~1.4eV,掺杂元素为C或Zn,掺杂浓度大于1e19,晶格分别与其相邻半导体层材料匹配或失配度小于3%,厚度均在5到100nm范围内;该第一新型隧穿结和第二新型隧穿结所含的n型Ga1-z Inz As,其光学带隙为小于或等于1.42eV,掺杂元素为Si、Te或/和Ge,掺杂浓度大于1e19,晶格分别与其相邻半导体层材料匹配或失配度小于3%,厚度均在5到100nm范围内;所述Ga1-y Iny Nx As1-x 材料背景掺杂为p型,且浓度高达1e17;所述Ga1- y Iny Nx As1-x 材料对晶格失配结构中的穿透位错的缺陷进行再过滤,从而提高子电池的晶体质量,起到位错阻挡层的作用。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的