[发明专利]一种高精度双层纳米光栅三轴加速度检测装置有效
| 申请号： | 201610562496.0 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106199069B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;王宾;薛梅;王高 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及加速度检测技术领域，提供了一种高精度双层纳米光栅三轴加速度检测装置，包括凸台、3轴加速度敏感结构、光电探测器阵列；凸台上布置有固定纳米光栅，凸台下方布置有对应的激光光源阵列，3轴加速度敏感结构包括分别检测X、Y、Z轴加速度的纳米光栅加速度敏感结构，位于凸台上方，纳米光栅加速度敏感结构上设有与固定纳米光栅对应的可动纳米光栅，3轴加速度敏感结构通过连接块与凸台可移动连接；激光光源阵列、固定纳米光栅、可动纳米光栅、光电探测器阵列自下而上对应布置在一条竖直轴线上。本发明的有益效果为：能同时检测三轴方向的加速度，精度高，使用惰性气体封装，寿命长，微型化、集成化、多功能，适于推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 双层 纳米 光栅 加速度 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度双层纳米光栅三轴加速度检测装置，其特征在于，包括凸台、3轴加速度敏感结构、光电探测器阵列；凸台上布置有固定纳米光栅，凸台下方布置有与固定纳米光栅对应的激光光源阵列，3轴加速度敏感结构包括分别检测X、Y、Z轴加速度的纳米光栅加速度敏感结构，位于凸台上方，所述纳米光栅加速度敏感结构上设有与固定纳米光栅对应的可动纳米光栅，3轴加速度敏感结构通过连接块与凸台可移动连接；激光光源阵列、固定纳米光栅、可动纳米光栅、光电探测器阵列自下而上对应布置，且均在同一条竖直轴线上。
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