[发明专利]一种太阳能电池硼扩散装置有效
申请号: | 201610563642.1 | 申请日: | 2016-07-18 |
公开(公告)号: | CN106129177B | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 张伟;杨伟光;郎芳;王平;史金超;宋登元 | 申请(专利权)人: | 保定天威英利新能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人: | 黄辉本 |
地址: | 071051 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能电池硼扩散装置,属于太阳能电池制作技术领域。本发明包括以下步骤将需要进行硼扩散的硅片放入扩散炉内,升温;通入硼源、二氯乙烯、氧气和氮气进行硼扩散;停止通硼源、氧气和二氯乙烯,在氮气氛围下保持温度在900℃‑960℃,持续时间15min‑40min,氮气流量为10‑20L/min;降温,取出硅片,完成扩散过程。本发明是在BBr3液态源高温扩散过程中引入二氯乙烯,能够提高硼扩散的片内均匀性及片间均匀性,减缓B2O3对炉内石英器件的腐蚀,延长石英器件的使用寿命,避免硅片在高温过程中受到金属污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 扩散 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池硼扩散装置,其特征在于,包括扩散炉(2)和进气管路(5),进气管路(5)与扩散炉(2)连通,硅片(1)置于扩散炉(2)内,进气管路(5)上连通有氮气通入的第一支管(4)、氧气通入的第二支管(3)、携带硼源的氮气通入的第三支管(12)、携带二氯乙烯的氮气通入的第四支管(6),第三支管(12)与BBr3储瓶(11)连通,第四支管(6)与二氯乙烯储瓶(9)连通;二氯乙烯储瓶(9)上还连通有氮气通入的第五支管(8),BBr3储瓶(11)还连通有氮气通入的第六支管(10);所述第三支管(12)靠近所述扩散炉(2)连通,所述第四支管(6)远离所述扩散炉(2)连通,所述第四支管(6)到所述扩散炉(2)的距离大于所述第三支管(12)到所述扩散炉(2)的距离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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