[发明专利]一种涂胶装置有效
| 申请号： | 201610565195.3 | 申请日： | 2016-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN106000776B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 薛海韵;曹立强;宋崇申;张文奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂胶装置，该装置包括载台、吸附于载台之上的晶圆，以及晶圆上方的胶体注入管路，胶体注入管路具有一喷头，该喷头正对晶圆表面，该装置还包括：一圆形托盘，设置于晶圆上方，在涂胶时该圆形托盘与晶圆一起夹住旋涂于晶圆表面的胶体，使胶体不会朝某个方向流出，并能得到较厚的胶膜。对于需要将粘度较小的胶涂布成较厚的膜时，本发明提供的这种涂胶装置，圆形托盘与晶圆可以一起先将胶体夹住一段时间，等胶体粘度增大到某个点时，再进行旋涂，进而能够得到较厚的胶膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂胶装置，该装置包括载台、吸附于载台之上的晶圆，以及晶圆上方的胶体注入管路，胶体注入管路具有一喷头，该喷头正对晶圆表面，其特征在于，该装置还包括：一圆形托盘，设置于晶圆上方，在涂胶时该圆形托盘与晶圆一起夹住旋涂于晶圆表面的胶体，使胶体不会朝某个方向流出，并能得到较厚的胶膜；所述圆形托盘的中心具有一孔，用于使胶体注入管路中的胶体能够通过该孔注入到晶圆表面。
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