[发明专利]用于对样品去层以对样品进行逆向工程的系统和方法有效
| 申请号： | 201610565566.8 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN106435595B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·K·福斯特;克里斯托弗·帕沃夫伊兹;贾森·阿布特;伊恩·琼斯;海因茨·约瑟夫·内特威切 | 申请（专利权）人： | 泰科英赛科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 本发明涉及用于对样品去层以对样品进行逆向工程的系统和方法。其中，所述样品的暴露表面包括多种材料，所述系统包括：离子束打磨机；去层反馈机制；和控制系统，所述控制系统与所述离子束打磨机和所述去层反馈机制可操纵地通信，以基于所述反馈机制自动控制所述离子束打磨机的一个或更多个操作参数，从而使用所述离子束打磨机的离子束以相等的离子束移除速率移除所述多种材料中的每种材料，以从所述样品的所述暴露表面移除具有恒定厚度的平坦的层，其中，从所述样品的每个新暴露的表面获取表面数据，以用于对至少一部分的所述样品进行逆向工程。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 样品 进行 逆向 工程 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于对样品去层以对所述样品进行逆向工程的系统，其中，所述样品的暴露表面包括多种材料，所述系统包括：离子束打磨机；去层反馈机制；控制系统，所述控制系统与所述离子束打磨机和所述去层反馈机制可操纵地通信，以基于所述反馈机制自动控制所述离子束打磨机的一个或更多个操作参数，从而使用所述离子束打磨机的离子束以相等的离子束移除速率移除所述多种材料中的每种材料，以从所述样品的所述暴露表面移除具有恒定厚度的平坦的层，其中，从所述样品的每个新暴露的表面获取表面数据，以用于对至少一部分的所述样品进行逆向工程，和其中所述去层反馈机制包括一去层材料检测元件；其中所述去层材料检测元件包括视觉检测工具、质谱工具或化学检测工具中的至少一个。
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