[发明专利]等离子体启辉方法和设备

摘要

本发明公开了等离子体启辉方法及设备，所述等离子体启辉方法用于将气体激发为等离子体，包括以下步骤：计算将气体激发生成等离子体所需的启辉上电极功率RF，且RF＝RF₁+RF₁*RF₂/(RF₁+RF₂)，其中，RF₁及RF₂分别为将气体维持在等离子体稳定状态所需的稳定上电极功率和稳定下电极功率；启动与上电极相连的第一射频电源和与下电极相连的第二射频电源，并将第一射频电源的功率设定为RF、第二射频电源的功率设定为RF₂；检测与所述功率设定为RF的第一射频电源相对应的反射功率，若所述反射功率小于RF₁*5％，则将第一射频电源的功率设定为RF₁，第二射频电源的功率仍设定为RF₂。本发明能够提高气体启辉成功率，还可以减少等离子体稳定时间，从而缩短工艺时间、提高机台效率。

主权项

1.一种等离子体启辉方法，用于将气体激发为等离子体，其特征在于，包括以下步骤：计算将所述气体激发生成等离子体所需的启辉上电极功率RF，且RF＝RF₁+RF₁*RF₂/(RF₁+RF₂)，其中，RF₁及RF₂分别为将所述气体维持在等离子体稳定状态所需的稳定上电极功率和稳定下电极功率；启动与上电极相连的第一射频电源和与下电极相连的第二射频电源，并将所述第一射频电源的功率设定为RF、所述第二射频电源的功率设定为RF₂；检测与所述功率设定为RF的第一射频电源相对应的反射功率，若所述反射功率小于RF₁*5％，则将所述第一射频电源的功率设定为RF₁，所述第二射频电源的功率仍设定为RF₂。