[发明专利]针对NO2气体的复合结构掺杂气敏材料、气敏元件及其制作方法与应用有效
申请号: | 201610566430.9 | 申请日: | 2016-07-19 |
公开(公告)号: | CN106093140B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 刘伟;刘久荣;倪禹行;乐凯 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 陈桂玲 |
地址: | 250199 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种针对NO2气体的复合结构掺杂气敏材料、气敏元件及其制作方法与应用。所述复合结构的掺杂气敏材料,由基体和掺杂相构成,所述基体为多孔结构的SnO2、ZnO或Fe2O3球形颗粒,所述基体表面及孔道内分布有掺杂相,所述掺杂相为Pt、Sb2O5、CuO或Al2O3颗粒。本发明还提供复合结构掺杂气敏材料的制备方法以及气敏元件的制作方法。本发明的复合结构掺杂气敏材料具有针对NO2气体的高选择性和响应值、工作温度低、响应及回复速度快等特点。本发明的制备方法易操作,设备简单,工艺参数易于控制,成本低。 | ||
搜索关键词: | 针对 no sub 气体 复合 结构 掺杂 材料 元件 及其 制作方法 应用 | ||
【主权项】:
1.一种针对NO2气体的复合结构的掺杂气敏材料,由基体和掺杂相构成,其特征在于,所述基体为多孔结构的金属氧化物球形颗粒,所述基体表面及多孔结构的孔道内分布有掺杂相;所述金属氧化物为SnO2;所述掺杂相为Sb2O5片状颗粒或球形颗粒;所述掺杂气敏材料为单分散球形颗粒,颗粒粒径为300‑1600nm;所述掺杂相颗粒粒径为2‑50nm;所述掺杂气敏材料的比表面积为20 m2g‑1‑60 m2g‑1;整体孔径分布均匀,平均直径在 600‑700 nm之间。
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