[发明专利]32通道低频RFID晶圆测试系统及方法在审

专利信息
申请号: 201610566451.0 申请日: 2016-07-18
公开(公告)号: CN106019125A 公开(公告)日: 2016-10-12
发明(设计)人: 景为平;都平;景一欧 申请(专利权)人: 南通大学
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 代理人: 吴静安
地址: 226019 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明的32通道低频RFID晶圆测试系统,包括32通道垂直探针卡,与被测芯片物理接触,获得已调信号;专用测试机模块,对已调信号进行解调,还原被测芯片包含的编码信息,判断被测芯片功能是否正确,将结果数据发送给上位机;上位机,接收所述结果数据进行显示、储存,并将数据与指令发送到探针台;探针台,根据所述指令进行测试操作,完成机械移动,并根据所述结果数据完成二进制值的写入,直至测试完成,获得整个晶圆map图。有益效果:实现了一个操作方便、简单高效、性能稳定的系统。
搜索关键词: 32 通道 低频 rfid 测试 系统 方法
【主权项】:
一种32通道低频RFID晶圆测试系统,其特征在于,包括32通道垂直探针卡,与被测芯片物理接触,获得已调信号;专用测试机模块,模块内的微控制器通过锁相环资源产生载波测试向量,并对已调信号进行解调,还原被测芯片包含的编码信息,与存入微控制器的预期响应进行比较,判断被测芯片功能是否正确,并将判断结果标记到对应通道数,将结果数据发送给上位机;上位机,接收所述结果数据进行显示、储存,并将数据与指令发送到探针台;探针台,根据所述指令进行测试操作,完成机械移动,并根据所述结果数据完成二进制值的写入,直至测试完成,获得整个晶圆map图。
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