[发明专利]32通道低频RFID晶圆测试系统及方法在审
申请号: | 201610566451.0 | 申请日: | 2016-07-18 |
公开(公告)号: | CN106019125A | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 景为平;都平;景一欧 | 申请(专利权)人: | 南通大学 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 | 代理人: | 吴静安 |
地址: | 226019 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明的32通道低频RFID晶圆测试系统,包括32通道垂直探针卡,与被测芯片物理接触,获得已调信号;专用测试机模块,对已调信号进行解调,还原被测芯片包含的编码信息,判断被测芯片功能是否正确,将结果数据发送给上位机;上位机,接收所述结果数据进行显示、储存,并将数据与指令发送到探针台;探针台,根据所述指令进行测试操作,完成机械移动,并根据所述结果数据完成二进制值的写入,直至测试完成,获得整个晶圆map图。有益效果:实现了一个操作方便、简单高效、性能稳定的系统。 | ||
搜索关键词: | 32 通道 低频 rfid 测试 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种32通道低频RFID晶圆测试系统,其特征在于,包括32通道垂直探针卡,与被测芯片物理接触,获得已调信号;专用测试机模块,模块内的微控制器通过锁相环资源产生载波测试向量,并对已调信号进行解调,还原被测芯片包含的编码信息,与存入微控制器的预期响应进行比较,判断被测芯片功能是否正确,并将判断结果标记到对应通道数,将结果数据发送给上位机;上位机,接收所述结果数据进行显示、储存,并将数据与指令发送到探针台;探针台,根据所述指令进行测试操作,完成机械移动,并根据所述结果数据完成二进制值的写入,直至测试完成,获得整个晶圆map图。
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