[发明专利]一种基于石墨烯平面结的光电探测器有效
| 申请号： | 201610566510.4 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN105957955B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 申钧;魏兴战;冯双龙;魏大鹏;杨俊;周大华;史浩飞;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | H01L35/28 | 分类号： | H01L35/28;H01L35/32;H01L35/22;H01L35/34 |
| 代理公司： | 北京元本知识产权代理事务所 11308 | 代理人： | 黎昌莉 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于石墨烯平面结的光电探测器，包括衬底，所述衬底表面两端各设置一个金属电极，所述金属电极之间连接有石墨烯整体条带，所述石墨烯整体条带一端为宽条带部，一端为窄条带部。发明提出的石墨烯平面结型光电探测器，利用不同宽度石墨烯条带能带结构的差异，引起宽窄条带塞贝克系数的差异，从而基于光热电效应，实现零偏压光电探测。本发明的器件结构和工艺流程简单，避免了冗繁的石墨烯化学掺杂工艺，并可实现并联结构提高光响应度；基于石墨烯的红外吸收特性，本发明提供的光电探测器可用于中远红外和太赫兹光电探测，是一种极具实用性的光电探测器结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 平面 光电 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种基于石墨烯平面结的光电探测器的制备方法，其特征在于，基于石墨烯平面结的光电探测器包括衬底，所述衬底表面两端各设置一个金属电极，所述金属电极之间连接有石墨烯整体条带，所述石墨烯整体条带一端为宽条带部，一端为窄条带部，所述石墨烯整体条带的最大宽度小于100纳米；基于石墨烯平面结的光电探测器的制备方法，包括以下步骤：(1)衬底准备：所述衬底为绝缘衬底或者覆盖有一层绝缘层的非绝缘衬底；(2)制备石墨烯薄膜并转移至衬底上；(3)在石墨烯薄膜表面沉积金属形成金属电极；(4)刻蚀石墨烯薄膜形成石墨烯条带；(5)利用微纳加工技术，使石墨烯条带形成宽条带部和窄条带部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院，未经中国科学院重庆绿色智能技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610566510.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
