[发明专利]一种基于导电DBR结构的倒装LED芯片及其制作方法在审
申请号: | 201610567047.5 | 申请日: | 2016-07-19 |
公开(公告)号: | CN106025010A | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 陈亮;李俊贤;吕奇孟;吴奇隆;陈凯轩;张永;刘英策;李小平;魏振东;周弘毅;黄鑫茂;蔡立鹤;林志伟;姜伟;卓祥景;方天足 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/32;H01L33/40;H01L33/42;H01L33/46 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司35203 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开一种基于导电DBR结构的倒装LED芯片及其制作方法,在衬底上依次生长缓冲层、N‑GaN层、有源层和P‑GaN层,有源层和P‑GaN层刻蚀形成台阶并将N‑GaN层部分裸露,在P‑GaN层台阶上依次形成DBR导电反射层和金属反射层,在N‑GaN层的裸露部分设置N金属导电层及电流扩展条,在金属反射层上方以及N金属导电层和N‑GaN层裸露部分的上方形成绝缘层;所述绝缘层上形成若干通孔,在绝缘层上分别设置P共金层和N共金层,P共金层通过通孔与金属反射层连接,N共金层通过通孔与N金属导电层连接,绝缘层将N金属导电层与P共金层隔离,将DBR导电反射层与N共金层隔离。本发明提高了发光二极管产品的发光可靠性,降低工艺难度和制作成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 导电 dbr 结构 倒装 led 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种基于导电DBR结构的倒装LED芯片,其特征在于:在衬底上依次生长缓冲层、N‑GaN层、有源层和P‑GaN层,有源层和P‑GaN层刻蚀形成台阶并将N‑GaN层部分裸露,在P‑GaN层台阶上依次形成DBR导电反射层和金属反射层,在N‑GaN层的裸露部分设置N金属导电层及电流扩展条,在金属反射层上方以及N金属导电层和N‑GaN层裸露部分的上方形成绝缘层;所述绝缘层上形成若干通孔,在绝缘层上分别设置P共金层和N共金层,P共金层通过通孔与金属反射层连接,N共金层通过通孔与N金属导电层连接,绝缘层将N金属导电层与P共金层隔离,将DBR导电反射层与N共金层隔离。
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