[发明专利]一种基于导电DBR结构的倒装LED芯片及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201610567047.5 申请日: 2016-07-19
公开(公告)号: CN106025010A 公开(公告)日: 2016-10-12
发明(设计)人: 陈亮;李俊贤;吕奇孟;吴奇隆;陈凯轩;张永;刘英策;李小平;魏振东;周弘毅;黄鑫茂;蔡立鹤;林志伟;姜伟;卓祥景;方天足 申请(专利权)人: 厦门乾照光电股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/32;H01L33/40;H01L33/42;H01L33/46
代理公司: 厦门市新华专利商标代理有限公司35203 代理人: 李宁
地址: 361000 福建省厦门市*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开一种基于导电DBR结构的倒装LED芯片及其制作方法,在衬底上依次生长缓冲层、N‑GaN层、有源层和P‑GaN层,有源层和P‑GaN层刻蚀形成台阶并将N‑GaN层部分裸露,在P‑GaN层台阶上依次形成DBR导电反射层和金属反射层,在N‑GaN层的裸露部分设置N金属导电层及电流扩展条,在金属反射层上方以及N金属导电层和N‑GaN层裸露部分的上方形成绝缘层;所述绝缘层上形成若干通孔,在绝缘层上分别设置P共金层和N共金层,P共金层通过通孔与金属反射层连接,N共金层通过通孔与N金属导电层连接,绝缘层将N金属导电层与P共金层隔离,将DBR导电反射层与N共金层隔离。本发明提高了发光二极管产品的发光可靠性,降低工艺难度和制作成本。
搜索关键词: 一种 基于 导电 dbr 结构 倒装 led 芯片 及其 制作方法
【主权项】:
一种基于导电DBR结构的倒装LED芯片,其特征在于:在衬底上依次生长缓冲层、N‑GaN层、有源层和P‑GaN层,有源层和P‑GaN层刻蚀形成台阶并将N‑GaN层部分裸露,在P‑GaN层台阶上依次形成DBR导电反射层和金属反射层,在N‑GaN层的裸露部分设置N金属导电层及电流扩展条,在金属反射层上方以及N金属导电层和N‑GaN层裸露部分的上方形成绝缘层;所述绝缘层上形成若干通孔,在绝缘层上分别设置P共金层和N共金层,P共金层通过通孔与金属反射层连接,N共金层通过通孔与N金属导电层连接,绝缘层将N金属导电层与P共金层隔离,将DBR导电反射层与N共金层隔离。
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