[发明专利]一种含铜刻蚀废液处理及回收工艺

摘要

针对现有上述铜刻蚀废液的处理工艺，本发明实施例提供一种高效的铜刻蚀液回收工艺，工艺设计主要分为两部分，一部分为铜刻蚀废液回收工艺，主体工艺为：废水收集罐、pH调节，双氧水分解系统、高效过滤器、双级反渗透系统；另一部分为废液处理工艺，主体工艺为：化学沉淀处理系统，污泥处理系统；本工艺中，锰砂造价较低，反应过程无需药剂，无损耗，无析出，无污染，经济实惠，另外具有反应快速，设备占地面积小；并将废水进行回收再利用，实现了资源再利用。

主权项

一种铜刻蚀废液处理及回收工艺，其特征在于，所述工艺采取以下工序：(1)将铜刻蚀废液通过收集罐进行集中收集；(2)通过供水泵将废水泵入锰砂过滤器进行处理；(3)含铜废水进入锰砂分解罐之前通过投加氢氧化钠经过管道混合器混合将进水pH=2调节至7，用于加快双氧水的反应速度，并防止反应过程中产生其他有害气体；（4）经过锰砂过滤器后的含铜废水进入高效纤维过滤器过滤掉颗粒物,达到出水浊度<1NTU；(5)高效纤维过滤器处理后的含铜废水再次通过双级反渗透脱盐、净化，出水达到再生水的回用水质要求；(6) 反渗透浓缩后的铜刻蚀废液进入化学沉淀处理系统，首先通过投加氢氧化钠，调节废水至合适的化学沉淀条件，随后投加释铜剂、氯化钙、混凝剂PAC、助凝剂PAM，使F、P、铜同时沉降，产水达到排放标准，排放；污泥经框板压滤机处理后外运。