[发明专利]一种自带晶圆寻边传感器的机械手

摘要

本发明涉及一种自带晶圆寻边传感器的机械手，包括主臂（100）、寻边传感器（1103）和芯轴组件（140），寻边传感器（1103）能随主臂（100）一起升降旋转，主臂（100）采用第一中空结构，芯轴组件（140）贯穿所述第一中空结构并设置成相对主臂（100）不旋转但能相对主臂（100）升降的状态，芯轴组件（140）采用中空轴形成第二中空结构，所述第二中空结构始终保持抽气状态，托盘（1402）托住晶圆背部并与之保持一定空间与大气相通产生负压，使托盘（1402）在取送晶圆时能够稳固并托住晶圆。本发明将寻边传感器与机械手合二为一，寻边过程中晶圆不旋转主臂带着传感器高速旋转,有效避免现有旋转晶圆带来的缺陷，托盘支撑晶圆的负压结构有效克服了现有吸盘结构的缺陷。

主权项

1.一种自带晶圆寻边传感器的机械手，包括主臂（100）和芯轴组件（140），其特征在于，主臂（100）包含寻边传感器（1103），主臂（100）包括第一主臂组件（110）、第二主臂组件（120）和第三主臂组件（130），第二主臂组件（120）采用前臂中空减速机，第一主臂组件（110）位于顶端，第一主臂组件（110）底端与第二主臂组件（120）顶端连接，第二主臂组件（120）底端与第三主臂组件（130）顶端连接，第三主臂组件（130）底端与芯轴组件（140）相连接，第一主臂组件（110）包括前臂（1101）和手叉（1102），手叉（1102）上设有手叉传感器（1105），前臂（1101）位于第一主臂组件（110）中心，手叉（1102）与前臂（1101）转动连接。