[发明专利]化学机械研磨抛光垫修整器在审
| 申请号： | 201610573553.5 | 申请日： | 2016-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN106002632A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王晓靁;刘伯彦 | 申请（专利权）人： | 厦门润晶光电集团有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/20 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司35203 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种化学机械研磨抛光垫修整器，由图案化蓝宝石衬底不良品和金属基材结合而成，图案化蓝宝石衬底不良品的图案部分经过重制达到凹凸落差为80～200μm，此重制后的图案部分构成修整器的修整面，图案化蓝宝石衬底不良品固定在金属基材上。本发明是将重制后的图案化蓝宝石衬底与金属基材结合，一方面为蓝宝石抛光垫修整器开创更广泛的原材料来源，另一方面提出图案化蓝宝石衬底不良品去化的商用高附加价值出路，有利于整体资源的有效应用以及整体的成本结构。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 抛光 修整 | ||
【主权项】：
化学机械研磨抛光垫修整器，其特征在于：由图案化蓝宝石衬底不良品和金属基材结合而成，图案化蓝宝石衬底不良品的图案部分经过重制达到凹凸落差为80～200μm，此重制后的图案部分构成修整器的修整面，图案化蓝宝石衬底不良品固定在金属基材上。
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