[发明专利]柔性压阻式触觉传感器阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 201610575051.6 | 申请日： | 2016-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN106197774B | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;王露贤;彭慧玲;杨斌;陈翔;杨春生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 徐红银;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性压阻式触觉传感器阵列及其制备方法，所述传感器阵列包括N*N个相互分离的压阻层和共面电极层，压阻层设置在共面电极层上；每个压阻层包括上层指压层、中层敏感层和底层敏感层，三层均带有微金字塔；共面电极层包括聚合物电极基底和位于聚合物电极基底上的N*N个金电极对。本发明压阻层采用带有微金字塔的聚合物薄膜，三层结构使得传感器能够在低压区域的灵敏度大大增加。另外，为了避免传统触觉传感器的三明治结构串扰大的缺点，采用共面电极层，所有电极处于同一平面，每一个电极对上都贴和相应的压阻层，每个压阻单元完全分开，有效提高传感器的灵敏度以及抗干扰的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 压阻式 触觉 传感器 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性压阻式触觉传感器阵列，其特征在于，包括N*N个相互分离的压阻层(1)和共面电极层(2)，所述压阻层(1)设置在共面电极层(2)上，N为大于1的整数；其中：每个压阻层(1)包括上层指压层(10)、中层敏感层(11)和底层敏感层(12)，所述上层指压层(10)、中层敏感层(11)和底层敏感层(12)均带有微金字塔；N*N个相互分离的压阻层用于采集压力信号，将压力信号的变化转换为电阻的变化；所述共面电极层(2)包括一层聚合物电极基底(20)和位于聚合物电极基底(20)上的N*N个金电极对(21)，共面电极层(2)用于传感器阵列与外部测试系统电路的导通，实时测量传感器电阻的变化。
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