[发明专利]冷头的制造方法有效
申请号: | 201610575543.5 | 申请日: | 2013-10-22 |
公开(公告)号: | CN106225288B | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 山田胜彦;布施圭一 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝高新材料公司 |
主分类号: | F25B9/14 | 分类号: | F25B9/14;F28D17/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 黄永杰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提高蓄冷材粒子相对于冷头的载物台的充填率,且抑制制冷剂气体的通气性的降低。本发明的冷头的制造方法,具备:在蓄冷容器内充填第一蓄冷材粒子群的工序、以及在所述蓄冷容器内,由金属网材与所述第一蓄冷材粒子群分隔并充填第二蓄冷材粒子群的工序,作为所述金属网材,使用具有长边的长度在所述蓄冷材粒子群的平均粒径的1/10以上、1/2以下的四角形状的网孔并且具有被编织成网状且线径在20μm以上、90μm以下的金属线的网材。 | ||
搜索关键词: | 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种冷头的制造方法,具备:在蓄冷容器内充填第一蓄冷材粒子群的工序、以及在所述蓄冷容器内,由金属网材与所述第一蓄冷材粒子群分隔并充填第二蓄冷材粒子群的工序,所述冷头的制造方法的特征在于,作为所述金属网材,使用具有长边的长度在所述第一蓄冷材粒子群以及第二蓄冷材粒子群的平均粒径的1/10以上、1/2以下的四边形状的网孔并且具有被编织成网状且线径在20μm以上、90μm以下的金属线的网材。
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