[发明专利]一种半导体结构有效
申请号: | 201610578971.3 | 申请日: | 2016-07-22 |
公开(公告)号: | CN107644898B | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 陈智圣;林昭毅 | 申请(专利权)人: | 立积电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06 |
代理公司: | 上海市锦天城律师事务所 31273 | 代理人: | 刘民选 |
地址: | 中国台湾台北市内湖区*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体结构,包含一第一井区;一半导体组件,形成或接触于该第一井区;一第二井区,该第一井区是形成于该第二井区;及一第一隔离层,用以降低该第一井区及该第二井区间的寄生效应。该第一隔离层的底部的深度是至少深达该第一井区的底部的深度。该第一隔离层是实质上沿着该第一井区的侧部边界形成一环状结构,其中该第二井区的参杂类型是相异于该第一井区的参杂类型。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 结构 | ||
【主权项】:
一种半导体结构,包含:一第一井区;一半导体组件,形成或接触于该第一井区;一第二井区,其中该第一井区是形成于该第二井区之上;及一第一隔离层,用以降低该第一井区及该第二井区间的寄生效应,该第一隔离层的底部的深度是至少深达该第一井区的底部的深度,且该第一隔离层是实质上沿着该第一井区的侧部边界形成一第一环状结构;其中该第二井区的参杂类型系相异于该第一井区的参杂类型。
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