[发明专利]膜厚的检测装置

摘要

本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括公共单元与检测单元，公共单元包括至少一个公共电极，检测单元包括至少两行沿待测膜移动方向间隔设置的传感器芯片与信号处理单元，各传感器芯片与公共单元在第一方向上相对且间隔设置，各行的多个传感器芯片沿第二方向间隔排列，公共单元与各传感器芯片之间的间隔构成待测膜的传输通道，各传感器芯片包括一行沿第二方向排列的多个检测电极，第二方向与待测膜的移动方向垂直，第一方向与第一平面垂直，第一平面与第二方向平行；信号处理单元与各传感器芯片电连接，对各传感器芯片输出的电信号进行处理并输出。该检测装置能够对薄膜的厚度进行精确地检测。

主权项

1.一种膜厚的检测装置，包括公共单元与检测单元，所述公共单元包括至少一个公共电极，其特征在于，所述检测单元包括：至少两行沿待测膜移动方向间隔设置的传感器芯片，各所述传感器芯片与所述公共单元在第一方向上相对且间隔设置，各行的多个所述传感器芯片沿第二方向间隔排列，所述公共单元与各所述传感器芯片之间的间隔构成所述待测膜的传输通道，各所述传感器芯片包括一行沿所述第二方向排列的多个检测电极，所述第二方向与所述待测膜的移动方向垂直，所述第一方向与第一平面垂直，所述第一平面与所述第二方向平行，各所述传感器芯片用于感应所述公共电极上的电信号并输出；以及信号处理单元，与各所述传感器芯片电连接，对各所述传感器芯片输出的电信号进行处理并输出，所述检测单元包括两行相同的传感器芯片，各所述传感器芯片还包括控制电极，所述控制电极用于输入控制各行所述传感器芯片工作的时钟信号与行启动信号并输出所述传感器芯片检测到的电信号，不同行的所述传感器芯片的行启动信号具有延时。