[发明专利]微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜有效
| 申请号： | 201610580102.4 | 申请日： | 2016-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN106290376B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;刘勋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜，属于显示技术领域。所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上，所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。本发明解决了现有技术中微观缺陷检测装置的功能较单一的问题，实现了丰富了微观缺陷检测装置的功能的效果，用于检测微观缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 微观 缺陷 检测 装置 及其 控制 方法 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种微观缺陷检测装置，其特征在于，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上；所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷；所述标记组件还用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，所述第二区域的面积小于所述第一区域的面积；所述标记组件还用于在检测到所述第二区域后，采用第二标记印章标记所述第二区域中的微观缺陷；所述检测组件包括具有第一倍率的物镜，所述标记组件包括具有第二倍率的物镜，所述第二倍率大于所述第一倍率。
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