[发明专利]超声波器件、超声波模块、电子设备及超声波测量装置有效
| 申请号： | 201610580923.8 | 申请日： | 2016-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN106362934B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 清濑摄内;桥元伸晃 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G01N29/34;G01N29/22 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供确保防水性且能高精度进行收发控制的超声波器件、超声波模块、电子设备及超声波测量装置。超声波器件(22)具备：元件基板(41)；超声波换能器阵列(50)，设于元件基板(41)的背面(41A)，阵列配置有多个超声波换能器(51)；电极线(414C)，在元件基板(41)的背面(41A)与超声波换能器(51)连接，并且，在从法线方向观察元件基板(41)的平面观察中被引出至超声波换能器阵列(50)外侧的端子区域；密封板(42)，与元件基板(41)的背面(41A)侧接合；及贯通电极(422)，在密封板(42)的与超声波换能器阵列(50)相对的区域外侧且与电极线(414C)的电极垫(414P)相对的位置上沿厚度方向贯通密封板(42)而与电极垫(414P)电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 器件 模块 电子设备 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超声波器件，其特征在于，具备：/n元件基板，具有第一面及与所述第一面相反一侧的第二面；/n超声波换能器阵列，设于所述元件基板的所述第一面，多个超声波换能器呈阵列状配置于所述超声波换能器阵列；/n电极线，在所述元件基板的所述第一面与所述超声波换能器连接，在从法线方向观察所述元件基板的平面观察中，所述电极线引出至所述超声波换能器阵列的外侧；/n密封板，与所述元件基板的所述第一面接合；以及/n贯通电极，在所述平面观察中，于所述密封板的与所述超声波换能器阵列相对的阵列相对区域的外侧且与所述电极线的局部相对的位置上沿厚度方向贯通所述密封板而设置，并与所述电极线的局部连接，/n所述元件基板具备：/n与多个所述超声波换能器各自对应的开口部；以及/n堵塞所述开口部的振动膜，/n所述振动膜堵塞所述开口部的所述第一面一侧。/n
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