[发明专利]一种真空预载气浮转台

摘要

本发明公开了一种真空预载气浮转台，所述气浮转台中的排气腔通过排气通道与外界大气连通。内、外支承环面设置止推节流器Ⅰ、Ⅱ，并进气通道Ⅰ连通。真空腔设置抽气孔，并与抽气通道连通。基座内孔设置有数个径向节流器，并与进气通道Ⅱ连通；止推板与转轴分别位于基座上方和内孔中，两者固定连接。转轴与基座内孔之间、止推板与基座上表面之间分别设置有一气膜支承间隙。进气通道Ⅰ、Ⅱ分别连接压力调节阀Ⅰ、Ⅱ，使基座上表面和基座内孔气膜压力分别可调。抽气通道与真空发生器、压力调节阀Ⅲ依次连接。本发明在开式气浮支承的基础上，引入真空预载作用，提高了开式气浮转台的稳定性，实现了双向刚度。本发明结构简单，制造容易，非常适用于各类机床、仪表的高精度回转运动场合。

主权项

一种真空预载气浮转台，其特征在于，所述的真空预载气浮转台包括基座（1）、转轴（2）、止推板（3）、供气系统；其中，供气系统含有压力调节阀Ⅰ（17）、压力调节阀Ⅱ（18）、压力调节阀Ⅲ（16）、真空发生器（19）；其连接关系是，基座（1）中心设置有内孔，基座（1）上表面设置有排气腔（4）、内支承环面（5）、真空腔（6）、外支承环面（7），基座（1）内部设置有排气通道（13）、抽气通道（15）、进气通道；排气腔（4）沿周向设置有数个排气孔（12），排气孔（12）通过排气通道（13）与外界大气连通；内支承环面（5）、外支承环面（7）沿周向分别设置有数个止推节流器Ⅱ（28）、止推节流器Ⅰ（8），止推节流器Ⅰ（8）、止推节流器Ⅱ（28）均与进气通道Ⅰ（9）连通；真空腔（6）沿周向设置有数个抽气孔（14），抽气孔（14）与抽气通道（15）连通；基座（1）的内孔沿周向设置有数个径向节流器（11），径向节流器（11）与进气通道Ⅱ（10）连通；止推板（3）位于基座（1）的上方，转轴（2）位于基座（1）的内孔中，转轴（2）与止推板（3）通过螺钉固定联接；转轴（2）与基座（1）的内孔之间设置有一气膜支承间隙，止推板（3）与基座（1）上表面之间设置有一气膜支承间隙，在气膜支承作用下，转轴（2）浮于基座（1）的内孔，止推板（3）浮于基座（1）上表面；进气通道Ⅰ（9）、进气通道Ⅱ（10）分别连接压力调节阀Ⅰ（17）、压力调节阀Ⅱ（18），使基座（1）上表面和基座（1）内孔气膜压力分别可调；供气系统中的压力调节阀Ⅰ（17）与进气通道Ⅰ（9）连接，压力调节阀Ⅱ（18）与进气通道Ⅱ（10）连接；抽气通道（15）与真空发生器（19）、压力调节阀Ⅲ（16）依次连接。