[发明专利]一种直线度综合检测装置

摘要

本发明公开了一种直线度综合检测装置，所述装置中的导轨条固定在基座上，气浮滑块位于导轨条之间，工作台位于导轨条上方；气浮滑块分别与工作台、电机座固定连接；读数头座安装于气浮滑块上；工作台和气浮滑块设置有通气气孔；工作台上设置矩形腔，通过吸气气孔与真空发生器连通；立柱安装于工作台上，螺杆安装于立柱的中心；竖直滑块分别与螺杆、立柱、横梁连接；C型滑块分别与横梁、测头座连接；L型支板分别与基座、端面限位块、侧面限位块固定连接。测头与数据采集仪电连接，控制器与直线电机电连接，控制器与光栅尺的读数头电连接。本发明实现了基于连续扫描的直线度偏差的高精度自动化测量，能够实现多种直线度偏差评定与对比检测。

主权项

1.一种直线度综合检测装置，其特征在于，所述的装置包括基座（1）、驱动组件、测量组件、数据采集仪、控制器、真空发生器（20）以及四组结构相同的支承组件；所述的驱动组件含有工作台（13）、气浮滑块（15）、电机座（16）、直线电机（17）、读数头座（18）、光栅尺（19）及两个结构相同的导轨条（14）；所述的测量组件含有立柱（10）、螺杆（11）、竖直滑块（12）、横梁（9）以及两组结构相同的测头（6）、测头座（7）、C型滑块（8）；所述的每组支承组件均含有L型支板（2）、端面限位块（3）、侧面限位块（4）；其连接关系是，所述的驱动组件中的两个导轨条（14）平行设置并对称固定在基座（1）上表面的中心位置；气浮滑块（15）位于两个导轨条（14）之间，工作台（13）位于两个导轨条（14）上方，气浮滑块（15）与工作台（13）固定连接；电机座（16）固定连接在气浮滑块（15）底部；直线电机（17）的动子安装于电机座（16）底部，直线电机（17）的定子安装于基座（1）上表面中心；读数头座（18）安装于气浮滑块（15）侧面，光栅尺（19）的读数头安装于读数头座（18）底部，光栅尺（19）的尺体安装于一个导轨条（14）的侧面；所述的工作台（13）底部和气浮滑块（15）侧面设置有数个通气气孔；所述的工作台（13）底部还设置有数个矩形腔，矩形腔内设置有吸气气孔，吸气气孔与真空发生器（20）连通；所述的测量组件中的立柱（10）安装于工作台（13）的上表面；螺杆（11）安装于立柱（10）的中心；竖直滑块（12）内设置有螺纹孔、竖直方孔和水平方孔，所述的螺纹孔、竖直方孔、水平方孔互不连通；竖直滑块（12）分别通过螺纹孔与螺杆（11）连接、通过竖直方孔与立柱（10）滑动连接、通过水平方孔与横梁（9）滑动连接；C型滑块（8）与横梁（9）滑动连接，测头座（7）与C型滑块（8）固定连接，测头（6）安装于测头座（7）末端；所述的四组支承组件分别安装于基座（1）上表面，L型支板（2）下端与基座（1）固定连接，L型支板（2）上端分别与端面限位块（5）和侧面限位块（4）固定连接；所述的测头（6）与数据采集仪电连接，控制器与直线电机（17）电连接，控制器与光栅尺（19）的读数头电连接。