[发明专利]一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法有效
| 申请号： | 201610582290.4 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106268903B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李爱东;曹燕强;赵希瑞;陈君;吴迪 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | B01J27/24 | 分类号： | B01J27/24 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法，首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹，包裹参数为：反应室温度100‑500 oC；钛源：四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛；氮源：氨气或者氨气等离子体；载气：钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气，流量为50‑200 sccm；氮源使用高纯氩气作为载气，流量为50‑200 sccm；脉冲和清洗时间：钛源脉冲为0.1‑10 s；每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s；氮源脉冲为5‑60s，紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s，冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行，产品的可见光催化性能显著增强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ald 技术 表面 改性 氧化 纳米 颗粒 可见 光催化剂 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹，包裹TiN薄膜的参数为：反应室温度：100‑500 oC；反应源：钛源：四氯化钛、四（二甲氨基）钛或异丙醇钛；氮源：氨气或者氨气等离子体；载气：钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气，流量为50‑200 sccm；氮源使用高纯氩气作为载气，流量为50‑200 sccm；氨气脉冲参数：流量为10‑200 sccm；氨气等离子体参数：流量为10‑200 sccm，等离子体功率为100‑3000 W；脉冲和清洗时间：钛源脉冲为0.1‑10 s；每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s；氮源脉冲为5‑60s，紧接着用高纯氮气清洗2‑60 s，冲掉反应副产物和残留的反应源；2）重复步骤1）直到在二氧化钛粉末表面沉积要求厚度的超薄TiN，形成超薄N掺杂二氧化钛表面层。
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