[发明专利]有机发光显示装置和制造有机发光显示装置的方法有效

专利信息
申请号: 201610584830.2 申请日: 2016-07-22
公开(公告)号: CN106373980B 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 权宁吉 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/50;H01L51/56
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 严芬;康泉
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了一种有机发光显示装置和制造有机发光显示装置的方法。该制造有机发光显示装置的方法,包括:在基板上形成包含含氟聚合物的剥离层;在剥离层上形成光刻胶,并通过除去其一部分图案化光刻胶;使用第一溶剂在除去了光刻胶的区域中蚀刻剥离层,使得剥离层的一部分保留在基板上;在保留在基板上的剥离层上方和在剥离层上保留有光刻胶的区域上方形成蚀刻停止层;以及使用第二溶剂除去在剥离层上保留有光刻胶的区域下方的剥离层。
搜索关键词: 有机 发光 显示装置 制造 方法
【主权项】:
一种制造有机发光显示装置的方法,该方法包括:在基板上形成包括含氟聚合物的剥离层;在所述剥离层上形成光刻胶,并通过除去所述光刻胶的一部分来图案化所述光刻胶;使用第一溶剂在除去了所述光刻胶的区域中蚀刻所述剥离层,使得所述剥离层的一部分保留在所述基板上;在保留在所述基板上的所述剥离层上方和在所述剥离层上保留有所述光刻胶的区域上方形成蚀刻停止层;以及使用第二溶剂除去在所述剥离层上保留有所述光刻胶的所述区域下方的所述剥离层。
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