[发明专利]有机发光显示装置和制造有机发光显示装置的方法有效
申请号: | 201610584830.2 | 申请日: | 2016-07-22 |
公开(公告)号: | CN106373980B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 权宁吉 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/50;H01L51/56 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 严芬;康泉 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种有机发光显示装置和制造有机发光显示装置的方法。该制造有机发光显示装置的方法,包括:在基板上形成包含含氟聚合物的剥离层;在剥离层上形成光刻胶,并通过除去其一部分图案化光刻胶;使用第一溶剂在除去了光刻胶的区域中蚀刻剥离层,使得剥离层的一部分保留在基板上;在保留在基板上的剥离层上方和在剥离层上保留有光刻胶的区域上方形成蚀刻停止层;以及使用第二溶剂除去在剥离层上保留有光刻胶的区域下方的剥离层。 | ||
搜索关键词: | 有机 发光 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种制造有机发光显示装置的方法,该方法包括:在基板上形成包括含氟聚合物的剥离层;在所述剥离层上形成光刻胶,并通过除去所述光刻胶的一部分来图案化所述光刻胶;使用第一溶剂在除去了所述光刻胶的区域中蚀刻所述剥离层,使得所述剥离层的一部分保留在所述基板上;在保留在所述基板上的所述剥离层上方和在所述剥离层上保留有所述光刻胶的区域上方形成蚀刻停止层;以及使用第二溶剂除去在所述剥离层上保留有所述光刻胶的所述区域下方的所述剥离层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的