[发明专利]具有声压敏感膜片元件和压敏信号感测装置的MEMS构件有效
| 申请号： | 201610584853.3 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106375914B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | T·布克;F·普尔科;M·斯顿伯;R·艾伦普福特;R·舍本;B·施泰因;C·谢林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/12 | 分类号： | H04R7/12;H04R17/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | MEMS构件(51)，在其层结构中构造有至少一个声压敏感的膜片元件(531)，其覆盖所述层结构中的开口或空腔，所述膜片元件(531)的偏移借助膜片元件(531)的连接区域中的至少一个压敏电路元件(58)来感测，提出应能够在所述膜片元件偏移时符合目的地影响膜片面上的应力分布的设计措施。尤其提出将所述机械应力符合目的地传导到膜片元件的预先给定区域中的措施，以便增强测量信号。为此，所述膜片元件(531)应包括至少一个预定弯曲区域(55)，其通过所述膜片元件(531)的结构化(571)限定并且在声作用下与邻接的膜片区段(56)相比更强烈地变形。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 声压 敏感 膜片 元件 信号 装置 mems 构件 | ||
【主权项】：
一种MEMS构件(51)，在其层结构中构造有至少一个声压敏感的膜片元件(531)，所述膜片元件(531)覆盖所述层结构中的开口(54)或空腔，其中，所述膜片元件(531)是结构化的，其中，所述膜片元件(531)的偏移借助至少一个压敏电路元件(58)来感测，所述压敏电路元件(58)布置在所述膜片元件(531)附接到所述层结构上的连接区域中，其特征在于，所述膜片元件(531)包括至少一个预定弯曲区域(55)，所述至少一个预定弯曲区域(55)通过所述膜片元件(531)的结构化(571)限定并且在声作用下与邻接的膜片区段(56)相比更强烈地变形。
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