[发明专利]一种抛光组合物在审
| 申请号： | 201610584904.2 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106189873A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王同庆;顾忠华;黄灿荣;顾敏敏;王鑫;潘国顺 | 申请（专利权）人： | 清华大学;深圳清华大学研究院 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志东 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光组合物，属于化学机械抛光(CMP)领域。本发明所述组合物包含氧化铈粉，酸性二氧化硅溶胶，表面保护膜形成剂，唑类化合物及氧化铈二氧化硅桥联剂，去离子水；各组分配比为：氧化铈粉5～30wt％；酸性二氧化硅溶胶0.1～5wt％；氧化铈二氧化硅桥联剂0.01～0.5wt％；表面保护膜形成剂0.1～2wt％；唑类化合物0.1～1wt％；去离子水余量。本发明为适应超薄玻璃在低压条件下的快速抛光，开发出一种新的抛光组合物，可在低压下明显提升玻璃抛光速率，获得粗糙度更低的玻璃表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 组合 | ||
【主权项】：
一种抛光组合物，其持征在于，所述组合物包含氧化铈粉，酸性二氧化硅溶胶，表面保护膜形成剂，唑类化合物及氧化铈二氧化硅桥联剂，去离子水；各组分配比为：![]()
所述组合物适用于超薄玻璃在低压条件下的抛光。
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