[发明专利]用于执行版图OPC处理的方法

摘要

本发明提供了一种用于执行版图OPC处理的方法，包括：系统接收集成电路的版图布局数据；系统将集成电路的版图布局数据切割成多个初始版图布局图形；系统确定切割后每一个初始版图布局图形的第一图形密度；系统调用建立OPC处理模型时所对应的第二图形密度；系统根据第二图形密度和第一图形密度的差值大小在版图布局数据上添加亚分辨率辅助图形以得到新版图数据；系统确定添加亚分辨率图形之后得到的新版图数据的新图形密度；系统调用OPC处理模型对新版图数据进行OPC处理并得到最终版图布局；系统将每一块经过处理好之后的版图布局进行拼接；系统将拼接的总版图布局存储起来做为预备掩膜版数据。

主权项

1.一种用于执行版图OPC处理的方法，其特征在于包括：第一步骤：系统接收集成电路的版图布局数据；第二步骤：系统将集成电路的版图布局数据切割成多个初始版图布局图形；第三步骤：系统确定切割后每一个初始版图布局图形的第一图形密度；第四步骤：系统调用建立OPC处理模型时所对应的第二图形密度；第五步骤：系统根据第二图形密度和第一图形密度的差值大小在版图布局数据上添加亚分辨率辅助图形以得到新版图数据；具体的，系统根据第二图形密度和第一图形密度的差值的正负号以及差值的绝对值添加预定亚分辨率辅助图形，其中如果第二图形密度和第一图形密度的差值是正值则添加负型的亚分辨率辅助图形，如果第二图形密度和第一图形密度的差值是负值则添加正型的亚分辨率辅助图形；第六步骤：系统确定添加亚分辨率图形之后得到的新版图数据的新图形密度；第七步骤：系统调用OPC处理模型对新版图数据进行OPC处理并得到最终版图布局；第八步骤：系统将每一块经过处理好之后的版图布局进行拼接；第九步骤：系统将拼接的总版图布局存储起来做为预备掩膜版数据。