[发明专利]一种超精密圆球研抛机及研抛工艺

摘要

本发明涉及一种超精密圆球研抛机，包括驱动机构、主轴、下磨盘、至少一个上磨盘和至少一个行星盘机构，主轴与驱动机构传动连接，主轴设有行星盘机构，包括金属齿圈和设置在金属齿圈内部的行星盘，每个行星盘机构的行星盘对应一个上磨盘，且行星盘设置在上磨盘与下磨盘之间，所述金属齿圈和上磨盘均与主轴传动连接。本发明还涉及一种超精密圆球研抛工艺。本发明球体工件在研磨时可以自由转动，使球体工件表面研磨均匀，加工效率高，成本低，精密度高。

主权项

一种超精密圆球研抛机，其特征在于：包括驱动机构（1）、主轴（2）、下磨盘（3）、至少一个上磨盘（4）和至少一个行星盘机构（5），所述主轴（2）与驱动机构（1）传动连接，主轴（2）设有行星盘机构（5）包括金属齿圈（55）和设置在金属齿圈（55）内部的行星盘（51），每个行星盘（51）对应一个上磨盘（4），且行星盘（51）设置在上磨盘（4）与下磨盘（3）之间，所述金属齿圈（55）和上磨盘（4）均与主轴（2）传动连接，所述金属齿圈（55）与下磨盘（3）固定连接，主轴（2）通过金属齿圈（55）带动下磨盘（3）转动；且上磨盘（4）的转动方向与下磨盘（3）转动方向相反；所述行星盘（51）内设有工件盘孔（511）；所述工件盘孔（511）内设有内设有一个以上的工件盘（56），工件盘（56）孔内设有多个工件容纳孔（561）；所述行星盘（51）中心固定连接有固定轴（52），所述上磨盘（4）穿过固定轴（52）而设置在行星盘（51）上方。