[发明专利]一种掩模板搬运设备及曝光机组系统在审
| 申请号： | 201610587069.8 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106044229A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 钱宏伟;孙增标;王雷;赵杰;冯娜;张昭强 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/90;B65G43/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及显示装置制作技术领域，公开了一种掩模板搬运设备及曝光机组系统，以提高掩模板的搬运效率，减少掩模板在搬运过程中的损坏或污染。掩模板搬运设备包括：掩模板存储装置、运输装置、第一取放装置和第二取放装置；运输装置包括轨道和滑动装配在轨道上的掩模板运载装置；第一取放装置用于在掩模板存储装置与掩模板运载装置之间取放掩模板；对应掩模板曝光机组系统每一个曝光机所分别设置的第二取放装置用于在掩模板运载装置与曝光机的掩模板缓存装置之间取放掩模板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 搬运 设备 曝光 机组 系统 | ||
【主权项】：
一种掩模板搬运设备，其特征在于，包括：掩模板存储装置；运输装置，包括轨道和滑动装配在所述轨道上的掩模板运载装置；第一取放装置，用于在掩模板存储装置与掩模板运载装置之间取放掩模板；对应掩模板曝光机组系统每一个曝光机所分别设置的第二取放装置，用于在掩模板运载装置与曝光机的掩模板缓存装置之间取放掩模板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610587069.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种祛痘配方
- 下一篇：一种火电机组高温再热蒸汽管道的优化布置结构
