[发明专利]一种温度探测用长波通红外滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 201610588840.3 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN105974505B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 乔冠军;侯海港;刘桂武;邵海成;王明松 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外滤光片，具体涉及一种温度探测用长波通红外滤光片及其制备方法。基底材料选用单晶Si，折射率n＝3.42881；高折射率材料选用Ge，折射率n＝4.16422；低折射率材料选用ZnS，折射率n＝2.2。在基板两个表面上分别沉积不同中心波长的膜系。本发明提供的5500～14000nm长波通红外滤光片，半高点波长定位5500±1％nm，截止区透过率小于0.2％，透射区的透过率可达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他的干扰，提高仪器温度探测的精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 探测 长波 通红 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种温度探测用长波通红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板，硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择硫化锌ZnS和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；(3)一面膜系采用：以Sub/0.3L(0.5HL0.5H)6 0.3L 0.73(0.5HL0.5H)60.3L/Air，中心波长λ1＝4500nm为初始结构，利用膜系设计软件Essential Macloed中Refinement模块Simpex parameters和Optimac parameters优化得Sub/0.21L2.1H0.57L0.62H0.61L0.24H0.91L0.58H2.3L0.83H0.91L0.86H0.98L1.02H0.72L1.01H0.97L0.92H0.91L1.5H0.95L3H0.7L0.91H0.8L2.1H0.56L2.74H0.12L/Air膜系；(4)另一面膜系采用：以Sub/(0.5HL0.5H)6 0.75(0.5HL0.5H)6/Air，中心波长λ2＝2400nm为初始结构，利用膜系设计软件Essential Macloed中Refinement模块Simpex parameters和Optimac parameters优化得Sub/0.57H1.5L0.92H0.71L0.64H0.91L0.58H1.3L0.83H0.91L0.86H0.98L1.02H0.32L0.64H0.78L0.72H0.81L0.59H0.75L0.68H0.75L0.71H0.75L0.75H0.76L0.74H0.32L/Air膜系；膜系中符号含义分别为：Sub为基板，Air为空气，H和L分别代表高折射率材料膜层Ge和低折射率材料膜层ZnS的一个1/4波长光学厚度，中心波长λ1＝4500nm，λ2＝2400nm，1H＝(4nH d)/λ；1L＝(4nL d)/λ，结构式中数字为膜层的厚度系数、结构式中的指数是膜堆镀膜的周期数。
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