[发明专利]具有红外阻隔功能的氧化钨薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201610589510.6 申请日: 2016-07-25
公开(公告)号: CN107651860A 公开(公告)日: 2018-02-02
发明(设计)人: 金平实;包山虎;辛云川;李荣 申请(专利权)人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
主分类号: C03C17/34 分类号: C03C17/34
代理公司: 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)31261 代理人: 曹芳玲,郑优丽
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及具有红外阻隔功能的氧化钨薄膜及其制备方法,所述具有红外阻隔功能的氧化钨薄膜包括基体、形成在基体上的由结晶态氧化钨和非晶态氧化钨混合组成的氧化钨薄膜以及形成在所述氧化钨薄膜表面上的第一保护层,所述氧化钨薄膜中钨元素的价态组成包括+6价钨离子和+5价钨离子。本发明所述具有红外阻隔功能的氧化钨薄膜包括基体、形成在基体上的由结晶态氧化钨和非晶态氧化钨混合组成的氧化钨薄膜以及形成在所述氧化钨薄膜表面上的第一保护层,晶态氧化钨主要对1500nm以上的红外光有很好的屏蔽效果,而非晶态氧化钨对900‑1200nm的红外光有很好的屏蔽效果。
搜索关键词: 具有 红外 阻隔 功能 氧化钨 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
一种具有红外阻隔功能的氧化钨薄膜,其特征在于,所述具有红外阻隔功能的氧化钨薄膜包括基体、形成在基体上的由结晶态氧化钨和非晶态氧化钨混合组成的氧化钨薄膜以及形成在所述氧化钨薄膜表面上的第一保护层,所述氧化钨薄膜中钨元素的价态组成包括+6价钨离子和+5价钨离子。
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