[发明专利]准分子气体净化在审
| 申请号： | 201610590307.0 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN106374326A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 亚当·唐纳森;爱德华·S.·威廉姆斯;约翰·H.·亨特;特凯·阿库提;伊恩·J.·米勒 | 申请（专利权）人： | 光械股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及使用金属卤化盐反应器去除运行中或备用状态下的准分子激光器中的氟化氢(HF)。希望除去HF，因为污染物不仅吸收激光发射从而降低激光功率，并且还具有化学活性，降低内部激光元器件的寿命。金属卤化盐反应器可以设置在激光器容器中或外部导管回路中。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 气体 净化 | ||
【主权项】：
一种准分子激光器系统，包括：激光器容器，用于从包含惰性气体和氟气的激光气体中产生光，其中部分氟气与激光器容器中的氢发生反应生成氟化氢(HF)，导致激光气体被污染；用于输出光的光输出口；和反应器，包括能够吸收氟化氢的金属卤化盐来源，用于吸收被污染的激光气体中的氟化氢形成滤后激光气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光械股份有限公司，未经光械股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610590307.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
