[发明专利]大口径非球面在线轮廓检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 201610590672.1 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN106840024B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 张学军;陈新东;薛栋林;王孝坤;程强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人： | 高燕燕,仇蕾安 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了大口径非球面在线轮廓检测装置及其检测方法，能够实现大口径非球面反射镜的高精度轮廓检测。装置包括如下组件CCD组件中包括多个CCD，多个CCD均匀对称固定安装在被检测反射镜的边缘；激光出射机构出射多束激光光束分别一一对应投射至每个CCD中；CCD组件中的多个CCD将采集的数据传输给中心控制器。靶标球固定于平移机构上，在平移机构带动下，沿被测反射镜表面平移。激光跟踪仪对于靶标球所在位置进行数据采集，并将采集到的数据发送至中心控制器。中心控制器接收利用CCD采集的数据对激光跟踪仪采集的数据进行校正并计算面形误差。激光跟踪仪与镜体的距离取决于被检测反射镜的顶点曲率半径，曲率半径越大距离越大。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 球面 在线 轮廓 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
大口径非球面在线轮廓检测装置，其特征在于，包括激光跟踪仪(1)、激光出射机构、CCD组件(5)、中心控制器(6)、平移机构以及靶标球；所述CCD组件中包括多个CCD，多个CCD均匀对称固定安装在被检测反射镜的边缘；所述激光出射机构出射多束激光光束分别一一对应投射至每个CCD中；所述CCD组件中的多个CCD将采集的数据传输给中心控制器(6)；所述靶标球固定于所述平移机构上，在所述平移机构带动下，沿所述被检测反射镜表面平移；所述激光跟踪仪(1)对于所述靶标球所在位置进行数据采集，并将采集到的数据发送至所述中心控制器(6)；所述中心控制器(6)接收利用CCD采集的数据对激光跟踪仪(1)采集的数据进行校正并计算面形误差；激光跟踪仪与镜体的距离取决于被检测反射镜的顶点曲率半径，曲率半径越大距离越大。
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