[发明专利]反相器及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201610591444.6 申请日: 2016-07-22
公开(公告)号: CN107644878B 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 竺立强;晁晋予;肖惠 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L29/786;H01L29/51;H01L21/84
代理公司: 上海一平知识产权代理有限公司 31266 代理人: 竺云;黄丽珍
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种反相器,包含晶体管与电阻,其中,晶体管包含:双电层栅介质层、位于双电层栅介质层的一侧的栅电极,以及位于双电层栅介质层的另一侧的至少一个侧向调控端、沟道、源极与漏极,其中,沟道分别与源极、漏极接触;并且,侧向调控端均不与沟道、源极与漏极电联通;并且电阻的一端与漏极电联通,另一端用于施加电源电压VDD;晶体管的栅电极作为输入端,漏极作为输出端,源极接地,至少一个侧向调控端用于施加固定偏压Vm,固定偏压Vm用于调整晶体管的阈值电压。本发明能够极大降低反相器的工作电压,降低制造成本,并能够实现反相器的平衡噪音容限,改善反相器的电学特性。
搜索关键词: 反相器 及其 制作方法
【主权项】:
1.一种反相器,其特征在于,包含:晶体管与电阻,其中,所述晶体管包含:双电层栅介质层、位于所述双电层栅介质层的一侧的栅电极,以及位于所述双电层栅介质层的另一侧的至少一个侧向调控端、沟道、源极与漏极,其中,所述沟道分别与所述源极、所述漏极接触;并且,所述侧向调控端均不与所述沟道、所述源极与漏极电联通;并且所述电阻的一端与所述漏极电联通,另一端用于施加电源电压VDD;所述晶体管的栅电极作为输入端,所述漏极作为输出端,所述源极接地,至少一个所述侧向调控端用于施加固定偏压Vm,所述固定偏压Vm用于调整晶体管的阈值电压。
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