[发明专利]一种悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节方法

摘要

一种悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节方法，涉及碳纳米管谐振器。包括以下步骤：1)制备悬臂梁多壁碳纳米管谐振器；2)电子束辐照实现频率下降；3)焦耳热实现频率上升，实现悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节。利用电子束辐照和焦耳热的方式，利用高能电子束辐照碳纳米管引入缺陷和利用电流焦耳热退火消除缺陷。通过电子束辐照碳纳米管，实现碳纳米管谐振器的谐振频率可控下降，调控精度可高达0.1％/min，这一精度超过现有方法约一个数量级；通过电流产生焦耳热的方式，实现碳纳米管谐振器的谐振频率可控上升。此外，上述可逆调节过程还具有很好的可重复性。

主权项

1.一种悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节方法，其特征在于包括以下步骤：1)制备悬臂梁多壁碳纳米管谐振器；2)电子束辐照实现频率下降，具体方法为：(1)利用步骤1)制备的碳纳米管谐振器，调节透射电镜到预定的放大倍数，电子束聚焦至需要的电流密度，均匀覆盖住整根碳纳米管，并相隔固定时间记录一次碳纳米管的共振频率；(2)使用不同强度的电子束对碳纳米管进行照射，得到对应的碳纳米管频率漂移速率和调节精度；3)焦耳热实现频率上升，实现悬臂梁碳纳米管谐振器频率的调节；所述焦耳热实现频率上升的具体方法为：对制备好的碳纳米管谐振器施加电流脉冲，确认碳纳米管的一端与金对电极紧密接触并施加电流脉冲或恒电流。