[发明专利]一种处理多晶硅生产中尾气的方法及系统在审
| 申请号： | 201610592188.2 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN107648979A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 相文强;张吉武;侯雨;张凯兴;孙荣义;黄鹏 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D53/14 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 罗建民,邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种处理多晶硅生产中尾气的方法及系统，该方法包括以下步骤对多晶硅生产中尾气进行吸附，吸附多晶硅生产中尾气中的二氯二氢硅、三氯氢硅、氯化氢，得到经过吸附后的多晶硅生产中尾气；将被吸附的物质进行脱附，得到脱附出来的多晶硅生产中尾气，脱附出来的多晶硅生产中尾气包括二氯二氢硅、三氯氢硅和氯化氢；使用含有液态的四氯化硅的淋洗液冷凝并淋洗脱附出来的多晶硅生产中尾气，得到经过淋洗的淋洗液和经过淋洗的多晶硅生产中尾气，经过淋洗的淋洗液包括四氯化硅、二氯二氢硅、三氯氢硅和氯化氢。解决了现有的低温冷凝技术无法实现尾气中氯硅烷的有效回收，同时继续降低冷凝温度增加冷却介质消耗及设备投资的缺陷问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 处理 多晶 生产 尾气 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种处理多晶硅生产中尾气的方法，所述多晶硅生产中尾气包括氮气、氢气、二氯二氢硅、三氯氢硅和氯化氢，其特征在于，所述方法包括以下步骤：对多晶硅生产中尾气进行吸附，吸附多晶硅生产中尾气中的二氯二氢硅、三氯氢硅、氯化氢，得到经过吸附后的多晶硅生产中尾气；将被吸附的物质进行脱附，得到脱附出来的多晶硅生产中尾气；使用含有液态的四氯化硅的淋洗液冷凝并淋洗所述脱附出来的多晶硅生产中尾气，得到经过淋洗的淋洗液和经过淋洗的多晶硅生产中尾气。
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