[发明专利]一种CO2气体检测用双通道红外滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 201610592825.6 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN106054300B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 乔冠军;侯海港;邵海成;刘桂武;王明松 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G01N21/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外滤光片，具体涉及一种CO2气体检测用双通道红外滤光片及其制备方法。基底材料选用单晶Si，折射率n＝3.42881；高折射率材料选用Ge，折射率n＝4.16422；低折射率材料选用SiO，折射率n＝1.81312；在基板两个表面上分别沉积不同中心波长的膜系。本发明提供的4260nm和2780nm双通道红外滤光片，两个峰值透过率均达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他气体的干扰，提高仪器探测精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 红外滤光片 双通道 折射率 制备 低折射率材料 高折射率材料 基底材料 中心波长 透过率 信噪比 检测 单晶 基板 膜系 沉积 探测 | ||
【主权项】：
1.一种CO2气体检测用双通道红外滤光片，其特征在于：(1)采用单晶Si作基板，硅双面抛光，厚度300±10μm，晶向<100>；(2)镀膜材料选择一氧化硅SiO和单晶锗Ge，在基板两个表面上分别沉积多层干涉薄膜；(3)其中一面膜系结构采用：Air/0.54L0.39H1.1L0.64H1.45L5.61H1.5L0.27H1.1L1.17H0.97L3.99H0.97L1.22H0.517L1.89H1.128L5.91HL1.4H1.48L1.9H1.43L1.38H0.04L1.27H1.51L1.524H1.175L0.2H1.32L1.352H1.53L1.34H1.28L/Sub，中心波长λ1＝4260nm；(4)另一面膜系结构采用：Air/1.6L1.44H0.34L4.32H0.88L0.92H0.95L0.99H1.03L0.22H0.11L1.728H0.96L0.97H0.87L1.06H2.53L6.16H1.38L0.65H0.41L/Sub，中心波长λ2＝2780nm；膜系中符号含义分别为：Sub为基板，Air为空气，H和L分别代表高折射率材料膜层Ge和低折射率材料膜层SiO的一个1/4波长光学厚度，中心波长分别为λ1＝4260nm，λ2＝2780nm，1H＝(4nHd)/λ；1L＝(4nLd)/λ，结构式中数字为膜层的厚度系数。
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