[发明专利]一种异质结电池的湿化学处理方法

摘要

本发明公开了一种异质结电池的湿化学处理方法，包括如下步骤先对硅片进行预清洗；再对硅片进行去损伤层处理；然后对硅片进行制绒处理；再将硅片放入盐酸和氢氟酸的混合溶液中进行酸碱中和清洗；再将硅片用HF/HCL/O3混合溶液进行圆润化清洗，去除有机物、金属离子以及氧化和蚀刻硅，圆润化硅片；对圆润化清洗后的硅片进行后清洗；最后将硅片慢提拉脱水，并用氮气烘干。本发明把O3引入到异质结电池片的湿化学清洗工艺中来，臭氧氧化能力强，有效替代H2O2、硝酸等氧化剂，减少了高纯化学品的使用和排放，另外HF/HCL/O3的混合溶液具有去除有机物、去除金属离子以及氧化和蚀刻硅的多重作用，减少了清洗工艺的步骤和复杂性，具有工艺流程简单、高纯化学品使用量小、废液处理量少等优点。

主权项

一种异质结电池的湿化学处理方法，其特征在于：所述处理方法包括如下步骤：将硅片放入含有臭氧的碱性液中进行预清洗，然后用去离子水漂洗；；对预清洗后的硅片进行去损伤层处理，然后用去离子水漂洗干净；；对去损伤层处理后的硅片放入碱性溶液和制绒添加剂的混合溶液中进行制绒，然后用去离子水漂洗；将制绒处理后的硅片放入盐酸和氢氟酸的混合溶液中进行酸碱中和清洗，然后用去离子水漂洗；将酸碱中和清洗后的硅片用HF/HCL/O3混合溶液进行圆润化清洗，去除有机物、金属离子以及氧化和蚀刻硅，圆润化硅片；对圆润化清洗后的硅片进行后清洗；将后清洗的硅片慢提拉脱水，并用氮气烘干。