[发明专利]一种小尺寸掩膜板固定装置有效
| 申请号： | 201610595920.1 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN106057726B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 蒋谦 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/02;H01L51/56;B08B3/10;B08B11/02 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种小尺寸掩膜板固定装置，用于掩膜版的清洗中，所述小尺寸掩膜板固定装置包括一外框及一用于固定所述小尺寸掩膜板的固定槽，所述固定槽设置在所述外框内，所述外框可卡入一掩膜板清洗装置的掩膜板标准固定治具内。本发明的优点在于：在不改变清洗装置硬件结构的前提下，解决兼容大小掩膜板清洗的需求，不影响自动清洗机的自动运营方式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 掩膜板 固定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种小尺寸掩膜板固定装置，其特征在于，包括一外框，一用于固定所述小尺寸掩膜板的固定槽以及至少一个开口；所述固定槽设置在所述外框内，并且所述固定槽内部边缘至所述小尺寸掩膜板边缘具有一距离；所述外框可卡入一掩膜板清洗装置的掩膜板标准固定治具内，所述小尺寸掩膜板固定装置的外框的尺寸与一大尺寸掩膜板的尺寸相同，所述大尺寸掩膜板可卡入所述掩膜板清洗装置的掩膜板标准固定治具内；并且，沿所述外框长度方向，在所述固定槽与所述外框边缘之间设置所述至少一个开口。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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