[发明专利]静电键合设备及静电键合产生的方法有效
| 申请号： | 201610597631.5 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN106082117B | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 汤亮;张忠山;季磊;支萌辉;齐敏;孙泉;乔东海;张倩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静电键合设备及静电键合产生的方法，该设备包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000)，静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室，手套箱设备(0000)内部设置有手套箱；静电键合室与手套箱之间设立连接通道(0002)，连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移。本发明利用连接通道使手套箱和静电键合室连接在一起，保证了整个操作环境的洁净度，保证了操作环境与氧气、水汽隔绝，避免了厌氧、怕水汽的对象在操运过程中接触氧气和水汽的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 设备 产生 方法 | ||
【主权项】：
一种静电键合设备，包括手套箱设备(0000)和静电键合发生设备(1000)；其特征在于，所述静电键合发生设备(1000)内部设置有静电键合室，所述手套箱设备(0000)内部设置有手套箱；所述静电键合室与所述手套箱之间设立连接通道(0002)，所述连接通道(0002)用于实现操作对象的内部转移；所述连接通道(0002)设置有机械锁(0020)和机械门(0021)；当所述操作对象转移之前，开启所述机械锁(0020)和所述机械门(0021)；当所述操作对象转移之后，关闭所述机械门(0021)和所述机械锁(0020)；所述静电键合设备还包括手套箱设备电脑控制终端(0017)和静电键合发生设备电脑控制终端(1007)；所述手套箱包括：探头、气体输入孔和气体输出孔；所述手套箱设备电脑控制终端(0017)控制所述探头对所述手套箱内的氧气和水汽含量进行测量；通过所述手套箱设备电脑控制终端(0017)控制开启所述手套箱的置换功能，直到所述手套箱设备电脑控制终端(0017)显示所述氧气含量低于0.3ppm、水汽含量低于1.0ppm时，停止所述置换功能。
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