[发明专利]一种全溶液法制备全碳柔性光探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610597654.6 申请日: 2016-07-26
公开(公告)号: CN106024923B 公开(公告)日: 2017-07-25
发明(设计)人: 刘举庆;曹立君;黄维 申请(专利权)人: 南京工业大学
主分类号: H01L31/028 分类号: H01L31/028;H01L31/09;H01L31/18
代理公司: 南京知识律师事务所32207 代理人: 张芳
地址: 210009 *** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明属于光探测器领域,涉及一种全溶液法制备全碳柔性光探测器及其制备方法,该探测器包括柔性电极和中间活性层两部分。具体的,所述的电极是在柔性PET衬底上喷涂聚(3,4‑乙烯二氧噻吩)‑聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)电极;所述的中间活性层是将单壁碳纳米管(SWCNT)溶液和C60溶液分层喷涂在电极的沟道部分形成的中间活性层。最终制备一种全溶液法制备全碳柔性光探测器。该器件具有结构简单,性能优异等特点,且制备工艺简单,成本较低,具有广阔的应用前景。
搜索关键词: 一种 溶液 法制 备全碳 柔性 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
一种全溶液法制备全碳柔性光探测器的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:1)柔性衬底的处理;2)电极的制备;3)中间活性层的制备;4)利用半导体测试仪,测试所得的光探测器;所述的步骤2)电极的制备是先将具有电极图案化的掩膜板置于柔性衬底上,然后将PEDOT/PSS溶液置于喷枪中,将其喷涂于掩膜板的空白处,进行电极喷涂,喷涂完成后,将掩膜板取下;加热台的温度为80℃‑85℃;所述的步骤3)中间活性层的制备是先将SWCNT溶液置于喷枪中,喷涂在电极的沟道部分,SWCNT层充分干燥后,将C60溶液置于喷枪中,喷涂在SWCNT层上,加热台的温度为80℃‑90℃,待中间活性层干燥后即得产品。
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