[发明专利]一种高纯硅晶体材料精度研磨装置

摘要

本发明公开了一种高纯硅晶体材料精度研磨装置，包括机床、底座板、刻槽刀具、刻槽工件、杠杆和重锤，所述的底座板固定再机床的托板上，底座板上方放置有载物板，载物板上方固定有石墨载体，石墨载体上方放置有刻槽工件，刻槽工件的正上方设置有刻槽刀具，刻槽刀具固定在机床的三爪卡盘上，载物板与杠杆的一端铰接，杠杆的中心位置设置在底座板的边缘，杠杆的另一端固定有重锤。本发明的有益效果是：研磨效果好、研磨性能平稳、能调节研磨压力、能对刻槽工件的研磨深度及研磨的平稳性进行实时监控。

主权项

1.一种高纯硅晶体材料精度研磨装置，其特征在于：包括机床、底座板（2）、刻槽刀具（3）、刻槽工件（4）、杠杆（5）和重锤（6），所述的底座板（2）固定在机床的托板（1）上，底座板（2）上表面上沿竖直方向固定有多组底板光轴（7），底座板（2）上方放置有载物板（8），载物板（8）上开有与底板光轴（7）相对应的孔，底板光轴（7）插入载物板（8）的孔中，载物板（8）上方固定有石墨载体（16），石墨载体（16）上方放置有刻槽工件（4），刻槽工件（4）的正上方设置有刻槽刀具（3），在刻槽刀具（3）的正上方设置有喷淋管（10），喷淋管（10）中含有研磨浆料（9），刻槽刀具（3）固定在机床的三爪卡盘上，载物板（8）与杠杆（5）的一端铰接，杠杆（5）的中心位置铰接在底座板（2）的边缘，杠杆（5）的另一端固定有重锤（6），所述的喷淋管（10）包括内芯管（11）和外套管（12），外套管（12）套在内芯管（11）外，内芯管（11）沿其轴线方向开有长槽且长槽的开口朝上，外套管（12）沿其轴线方向同样开有长槽且长槽的开口朝下。