[发明专利]一种基于黑磷的硅基微环光路由器

摘要

本发明公开了一种基于黑磷的硅基微环光路由器，包括两条相互平行的总线光波导I和总线光波导II，总线光波导I和总线光波导II之间设置有微环，微环连接有电极，微环的整体或部分区域设置有黑磷层，设置有黑磷层的微环从下至上依次包括微环硅层、第一隔离介质层、黑磷层、第二隔离介质层、微环硅层和包层，所述黑磷层的一侧延伸到电极的下方。本发明能够灵活且实时地选择和分离出具有特定波长值的光信号；本发明的器件设计灵活、反应速度快、能耗低、使用方便，满足不同的波分复用要求；通过对不同的电极施加不同的偏置电压，可以实现不同波长光信号的选择以实现光路由功能。

主权项

一种基于石墨烯的硅基微环光路由器，其特征在于，包括微环光路由器单元，微环光路由器单元包括两条相互平行的总线光波导I(18)和总线光波导II(19)，所述的总线光波导I(18)和总线光波导II(19)之间设置有微环(5)，所述微环连接有电极(13)，所述微环的整体或部分区域设置有黑磷层(8)，设置有石墨烯层(8)的微环从下至上依次包括微环硅层(51)、第一隔离介质层(61)、黑磷层(8)、第二隔离介质层(62)、微环硅层(51)和包层(20)，第一隔离介质层(61)和第二隔离介质层(62)设置在微环(5)的微环硅层(51)之间。