[发明专利]一种集成薄膜型窄带带阻滤波器

摘要

本发明属于磁性材料与元器件领域，涉及高频微波电磁器件，高频磁性薄膜，尤其涉及一种集成薄膜型窄带带阻滤波器及其设计方法。本发明将磁性薄膜与共面波导集成，通过在薄膜平面不同方向施加角磁场，形成非单一频点窄带带阻滤波器，克服了多个谐振腔的复杂设计，结构简单，缩小了器件体积。能够在超高频(SHF,3‑30GHz)，极高频(EHF,30‑300GHz)范围内对干扰信号进行衰减，而不影响有信号，满足了非单一频带内对噪声谐波进行抑制的需求。并且可以结合薄膜技术和微电子光刻工艺，实现滤波器的制作，工艺简单，容易实现。

主权项

1.一种集成薄膜型窄带带阻滤波器，从下至上依次包括介质基片、共面波导传输线、绝缘层和磁性薄膜，其特征在于：还包括一个施加在磁性薄平面内的偏置磁场，偏置磁场大于1250Oe，与薄膜长度方向即X方向夹角为α；介质基片为高阻Si基片，R>2000Ω·cm；所述磁性薄膜为软磁性能优异的铁磁材料，其尺寸不超过绝缘层尺寸，以保证磁性薄膜与共面波导传输线完全绝缘；所述α＝0°时，为双频点；α≠0°时，为多频点；所述偏置磁场大小为4400Oe，与长度方向成30°角的磁场；低端阻带范围13.9GHz‑17.5GHz，中心频率15.9GHz，阻带抑制2.58dB；中端阻带范围23.8GHz‑24.4GHz，中心频率24.1GHz，阻带抑制11.6dB；高端阻带范34.5GHz‑36.0GHz，中心频率35.2GHz，阻带抑制15.4dB；该集成薄膜型窄带带阻滤波器设计简单，频段不单一，工艺简单。