[发明专利]一种变曲率反射镜装置

摘要

本发明涉及一种变曲率反射镜装置，包括反射镜组件和气动驱动组件；反射镜组件包括反射镜本体和支撑底盘；反射镜本体和支撑底盘之间设置有气腔；支撑底盘上设置有压缩空气进气孔、排气孔和压力传感器采样孔；气动驱动组件包括空气压缩机、压力传感器、比例阀、开关阀和工控机；空气压缩机用于为反射镜组件的气腔提供压缩空气；压力传感器用于监测气腔内的空气压力；工控机用于控制气腔内的驱动气压；开关阀用于控制压缩空气进气孔的开启或关闭；比例阀用于控制压缩空气的进气量。本发明实现曲率变化的同时也能够获得高精度的面形保持效果，使变曲率反射镜技术可以应用到对面形精度保持要求更高的可见光波段变焦成像。

主权项

1.一种变曲率反射镜装置，其特征在于：包括反射镜组件和气动驱动组件；所述反射镜组件包括反射镜本体和支撑底盘；所述反射镜本体和支撑底盘之间设置有气腔；所述支撑底盘上设置有压缩空气进气孔、排气孔和压力传感器采样孔；所述气动驱动组件包括空气压缩机、压力传感器、比例阀、开关阀和工控机；空气压缩机用于为反射镜组件的气腔提供压缩空气；压力传感器用于监测气腔内的空气压力；工控机用于控制气腔内的驱动气压；开关阀用于控制压缩空气进气孔的开启或关闭；比例阀用于控制压缩空气的进气量；所述反射镜本体包括中心厚边缘薄的渐变厚度反射镜以及环形支撑壁和环形中空基座；所述环形支撑壁是位于渐变厚度反射镜和环形中空基座之间的薄壁圆筒形结构；所述环形中空基座底部与所述支撑底盘粘接；所述反射镜本体由金属材料通过一体化成型加工获得；所述渐变厚度反射镜的厚度分布方程为y＝t₀·[1‑k·(2r/D)^m]ⁿ；其中，t₀是反射镜的中心厚度，r是反射镜球面的极坐标半径，D是反射镜的口径，k、m与n是用于控制反射镜厚度分布形式的常数。