[发明专利]光路改变单元、模块和方法及检测半导体基板的装置在审
| 申请号： | 201610601520.7 | 申请日： | 2016-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106412388A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 睦翰尚;崔学范 | 申请（专利权）人： | 恩逼真股份有限公司 |
| 主分类号： | H04N5/225 | 分类号： | H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明实施例的光路改变单元是其中从光源发出的光经过固定物体入射到图像传感器上的单元，光路改变单元允许图像传感器基于入射光获取具有第一分辨率的第一图像，其中基于第一图像提取具有第二分辨率的第二图像，第二分辨率高于第一分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 改变 单元 模块 方法 检测 半导体 装置 | ||
【主权项】：
一种用于提取高分辨率图像的光路改变单元，其中，光源发出的光经过固定物体入射到图像传感器上，其中光路改变单元允许图像传感器基于入射光获取具有第一分辨率的第一图像，并且其中基于第一图像提取具有第二分辨率的第二图像，其中第二分辨率高于第一分辨率，所述光路改变单元包括：主体部；以及可移动地连接至所述主体部的光路改变部，所述光路改变部的移动允许所述图像传感器获取多个不同的第一图像，所述多个不同的第一图像用于提取所述第二图像，其中，通过所述光路改变部的移动，入射到所述图像传感器上的光路被移动小于所述图像传感器的单元像素的距离，以及其中，根据所述光路改变部的移动，所述固定物体被偏移地成像在所述图像传感器的成像表面上。
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